Q_320505 SZCX001-2018光阻干膜企业标准.pdf

L59 Q/SZCX 长兴电子（苏州）有限公司企业标准 Q/320505 SZCX001-2018 代替Q/320505 SZCX001-2016 干 膜 光 阻 2018-9-28 发布 2018 10 01实施 长兴电子（苏州）有限公司 发布 1 7 Q/320505 SZCX001—2018 前  言 本标准所有内容应符合强制性国家标准、行业标准及地方标准，若与其相抵触 ，以国家标准、 行业标准、地方标准为准。 本产品如需办理专项行政许可，本企业应在取得专项行政许可证后。从事许可事项规定的活动， 并按备案标准组织生产。 本产品不需办理专项行政许可的，本企业按备案标准组织生产。 本企业对本标准的合法性、真实性、准确性、技术合理性和实施后果负责。 本标准是对旧标准代替Q/GZCX 1-2015的修订，本标准与旧标准相比，主要变化如下： 修改产品要求之膜厚允许误差范围，由允差在±5μm修訂為允差在±2μm范围以内。 修改检验规格中7.3 出货检验的抽样方案。 本标准由长兴电子（苏州）有限公司提出。 本标准起草单位：长兴电子（苏州）有限公司 。 本标准主要起草人: 毛惠宽，杨明雄。 本标准首次发布确认时间：2016年8月,2018年9月28 日第一次修订。 2 7 第 頁 共 頁 Q/320505 SZCX001—2018 干 膜 光 阻 1 范围 本标准规定了干膜光阻的定义、型号、要求、试验方法﹑检验规则﹑标志﹑包装﹑运输与贮存。 本标准适用于干膜光阻。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第1部分：按接受质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 干膜光阻 Dry Film Photoresist 应用于影像转移的电子化学产品。它具有三层的结构：PE层(保护层)﹑Photoresist层(产品层)﹑ PET层(载体层)。PE﹑PET层是物料，Photoresist 层是由树脂﹑聚合反应单体﹑光起始剂等组成。 3.2 21(41)格表 ETERTEC 21-step(41-step) tablet 涂有对UV光穿透具阻碍能力之涂层的胶片，该胶片上可细分为21(41)格灰阶，对UV光的穿透从上到 下逐级逸减，作为干膜光阻之曝光管理之工具之一。 3.3 膜厚 Thickness Photoresist层(产品层)之厚度。 3.4 光感应性 Photosensitivity 干膜光阻对某特定波长之UV光，产生光化学反应所需之能量，有许多量测判断之工具与方法，如 21(41)格表。 3