Lecture1-1微米纳米测试技术1610004772.ppt

微米／纳米测试技术 课程安排 课时分配：4次讲课，4次讨论 讲课：由尤政/董瑛老师担当 讨论课：针对专题布置作业，形式可以是设计、调研或综述报告，2人一组完成，由学生自己上台讲，作为平时成绩，占60％ 课程论文：占40％ 课程安排 课程主要内容 微米纳米技术概述 精密显微技术 2．1 光学显微镜的基本原理和构成 2．2 光学外差干涉显微技术 2．3 纳米轮廓测量技术 2．4 其他检测技术 电子显微镜和软X射线显微镜技术 3．1 电子显微镜的基本原理和构成 3．2 透射电子显微镜 3．3 扫描电子显微镜 3．4 正电子再发射显微镜 3．5 软X射线显微镜 课程主要内容 扫描探针显微镜技术 4．1 扫描隧道显微镜 4．2 原子力显微镜 4．3 其他扫描力显微镜 4．4 其他扫描探针显微镜 微成分分析技术 5．1 微成分分析的基本方法 5．2 质谱分析 5．3 俄歇电子能谱分析 5．4 光电子能谱分析 5．5 其他能量探针及分析技术 课程主要内容 微缺陷检测技术 6．1 微缺陷基本类型和检测方法 6．2 激光扫描层析技术 6．3 纳米激光雷达 6．4 纳米轮廓测量技术 6．5 其他检测技术 课程主要内容 微测试系统基础-MEMS传感器 7．1 典型MEMS传感器工作原理 7．2 微结构机械特性 7．3 应变与振动的测量 7．4 MEMS传感器的设计 微米纳米测试技术的应用 8．1