极大规模集成电路关键技术研究集体.PDFVIP

极大规模集成电路关键技术研究集体 研究集体主要科技贡献： 该研究集体在国家科技重大专项支持下，牵头组织全国性产学研用联盟，联 合北京大学、清华大学、复旦大学、中芯国际、武汉新芯等产学研用单位，通过 5 年攻关，实现了22 纳米高K 介质/金属栅工程、14 纳米FinFet 器件、新型存 储器件、可制造性设计等关键技术的突破，研究水平迈入世界前列；提出了 “专 利指导下的研发战略”，在关键工艺模块上形成了较为系统的知识产权布局（专 利2406 项，含国际专利483 项），并首次实现了向大型制造企业的许可转让，开 始进入产业化开发阶段。这一成果的取得，标志着我国在集成电路这一高度全球 化的高科技竞争领域前沿开始拥有一席之地，将为我国纳米级极大规模集成电路 产业技术升级提供有力的技术支撑。 研究集体突出贡献者及主要科技贡献： 叶甜春 中国科学院微电子研究所 主要科技贡献：负责技术路线整体设计与规划、知识产权系统布局和实施， 组建“产学研”联合研发团队，推进技术研发与产业化。 陈大鹏 中国科学院微电子研究所 主要科技贡献：负责组织22 和14 纳米关键工艺技术研发，重点攻关任务推 进，组建集成电路先导工艺公共研发平台。 朱慧珑 中国科学院微电子研究所 主要科技贡献：负责技术攻关，提出了“专利指导下的研发战略”，领导形 成了20-14 纳米主要专利组合，在高K/金属栅和FinFET 方面个人专利申请数量 全球排名分别为第一和第五。 研究集体主要完成者及工作单位： 赵 超 中国科学院微电子研究所 闫 江 中国科学院微电子研究所 杨士宁 中国科学院微电子研究所/武汉新芯集成电路有限公司 徐秋霞 中国科学院微电子研究所 刘 明 中国科学院微电子研究所 陈 岚 中国科学院微电子研究所 殷华湘 中国科学院微电子研究所 钟汇才 中国科学院微电子研究所 尹海洲 中国科学院微电子研究所 李俊峰 中国科学院微电子研究所 王文武 中国科学院微电子研究所 霍宗亮 中国科学院微电子研究所 李春龙 中国科学院微电子研究所 王红丽 中国科学院微电子研究所 王大海 中国科学院微电子研究所 阮文彪 中国科学院微电子研究所 唐 波 中国科学院微电子研究所