三维雷射显微镜-AOIEA自动光学检测设备联盟.pdfVIP

三維雷射顯微鏡 邱銘宏 詹遠生 陳昭安 國立虎尾科技大學 國立虎尾科技大學 國立虎尾科技大學 mhchiu@.tw secure168@ chicken0727@hotmail.c om 摘要 本研究提出以大面積反射量測方式，結合CCD 光強度影像分析技術來量測出待測物之表面輪廓。由 於在量測方面為了能夠節省時間，以及能夠迅速瞭解整個待測物的面貌，所以對於非穿透之待測物而 言，大面積量測是必要的。當一經擴束後之平行光投射在待測物上後，表面上的高度落差會造成反射 光角度的改變，再經由平行四邊形稜鏡形成靈敏的出射光強度變化。因此可以很清楚的看出，待測物 的表面上高度變化跟投射在平行四邊形稜鏡的入射角度變化是成正比關係，而入射角度變化又跟平行 四邊形稜鏡之反射率變化也成正比，所以最後就可以利用CCD 所擷取到的光強度變化來分析表面的 形貌。 此量測方式可以立即得到表面輪廓，從CCD 即時的影像擷取，進而轉成三維表面形貌，從中可以馬 上得到我們想要的資訊，這除了可以節省時間成本外，組裝容易、精確度也相對提高。 關鍵字：顯微鏡、表面形貌、三維量測、表面粗糙度 前言 壹、 對於表面粗糙度之測量，由於早期表面精密度要求不是那麼嚴謹，大都採取目視方法，但近來科技進 步快，對於表面精密度的要求也越來越高了，為了加快線上檢驗速度與簡化儀器的複雜度，光強度法 是比較好的選擇，由於架構與原理簡單，不管是光學系統的架設、調整與校正上，都很容易。更重要 的是本論文所提出的架構，可以作大面積的量測，因此不但能節省時間成本外，亦不會破壞待測物的 表面，不管是非穿透式或是穿透式的待測物，只要有足夠的反射光強度，都可以做量測。一般而言， 在量測上可分為接觸式跟非接觸式[1 、2]二大類，接觸式的量測如傳統的接觸探針式(stylus probe instrument) 。為了得到較準確的測量值，一般是在待測物上之不同位置作了幾次的測量後，再計算出 平均值，不過這需要花費相當多的時間，且對軟質材料而言，恐有刮傷其表面之虞。所以本論文提出 非接觸式的量測方法可以在短時間內作量測的動作外，也不會破壞到待測物上的表面，影響到準確 度。本論文除了表面輪廓量測外，也會針對表面粗糙度作討論。表面輪廓量測所得結果會與商用測膜 機(Dektak-6M)量測結果作比較;而表面粗糙度量測所得結果將以原子力顯微鏡(AFM)所量得之結果作 比較，之後再各別討論它們之間的誤差量。 貳、研究方法 一、 實驗架構 1 CCD Parallelogram Prism Rotation stage Lens3 PC Lens1 Isolator P(0°) Obj ective2 PBS Laser λ=632.8nm λ/4 wave plate Objective1 Lens2