Q_330481 xchn 001-2019蓝宝石化学机械抛光液.pdf

目 次 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 分类 1 4 性状 1 5 规格 1 6 试验方法 1 6.1 一般规定 1 6.2 外观 2 6.3 固含量 2 6.4 pH 值 3 6.5 粒径 3 6.6 粘度 4 6.7 密度 5 7 检验规则 5 8 标志、包装、运输、贮存 5 8.1 标签 6 8.2 包装 6 8.3 运输 6 8.4 贮存 6 I 前 言 本企业对本标准的合法性、真实性、准确性、技术合理性和实施后果负责。 本标准参照了我国硅溶胶行业标准HG/T 2521-2008 《工业硅溶胶》。 本标准的编写符合GB/T 1.1-2009 《标准化工作导则第1 部分：标准的结构和编写》。 本标准由浙江新创纳电子科技有限公司提出并负责起草。 本标准由浙江新创纳电子科技有限公司归口。 本标准主要起草人：刘卫丽、孔慧、邹帆。 Ⅱ 蓝宝石化学机械抛光液 1 范围 本标准规定了蓝宝石化学机械抛光液的规格、试验方法、检验规则、以及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于本公司蓝宝石化学机械抛光液的检验。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 4472-2011 化工产品密度、相对密度的测定 GB/T 6680-2003 液体化工产品采样通则（ISO 3170:1988，NEQ） GB/T 6682-2008 分析实验室用水规格和试验方法（ISO 3696:1987，MOD） GB/T 8170-2008 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T 9724-2007 化学试剂 pH 值测定通则（ISO 6353-1:1982，NEQ） GB 15258-2009 化学品安全标签编写规定 3 分类 产品按不同配方分为：SA-1201型、SA-1202型、SA-1201-S型、SA-1402型、SA-1402-A型、SA-1402-TS 型、SA-1403-T型、SA-1503型、SA-1403-T2型、SA-1402-SH型、SA-1703型、SA-1803型、SA-1403-O型、 SA-1903-A型、DI-100型、SA-1903型和SA-1403-M型。 4 性状 产品为乳白色液体。 5 规格 产品的规格见表1。 6 试验方法 6.1 一般规定 1 本章中除另有规定外，所用试剂均为分析纯试剂，实验用水应符合GB/T 6682-2008 中三级水规格 或相应纯度的水。 表1 项目 外观 固含量，% pH 值 （20 摄 粒径，nm 粘度，mPa.s 密度，g/ml（20 氏度） （25 摄氏度） 摄氏度） SA-1201 型 乳白色液体 39-41 10.00-11.00 100-120 1-5 1.27-1.30 SA-1202 型