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- 2019-10-25 发布于天津
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第卷第期年月物理学报不同晶化工艺对非晶纳米薄膜形核取向生长机理的影响黄文曾慧中张鹰蒋书文魏贤华李言荣电子科技大学微电子与固体电子学院成都年月日收到年月日收到修改稿射频磁控溅射法室温下在上制备非晶薄膜非晶薄膜分别经常规炉退火处理和快速热退火处理晶化为不同择优取向的多晶薄膜采用射线衍射测定了薄膜相组分择优取向度用原子力显微镜和压电响应力显微镜观察了薄膜表面形貌以及对应区域由自发极化形成的铁电畴像观察了不同取向薄膜的电畴分布特征结果表明晶化过程钙钛矿结构结晶主要以界面处的化合物为成核点异质形核并类似外
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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