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利用特征X射线能量不同来展谱的能量色散谱仪，简称能谱仪（EDS）。 二、X射线谱仪的类型及比较 波谱仪 WDS 能谱仪 EDS 利用特征X射线的波长不同来展谱，实现对不同波长X射线分别检测的波长色散谱仪。 BaTiO3的波谱 BaTiO3的能谱 波谱仪的分辨率高，波谱的峰背比至少是能谱的10倍，因此对一给定元素，可以在谱中出现更多的谱线。 波谱仪和能谱仪的比较 波谱仪：4Be～92U 能谱仪：11Na～92U （特殊能谱仪可分析6C以上的元素） 1. 分析元素范围 2.分辨率 表示方法：波长色散谱或能量色散谱的谱峰半高宽△λ,△E;也可用△λ/λ、△E/E百分数 半高宽越小，分辨率越高。 是指谱仪分开或识别相邻两个谱峰（即两条谱线）的能力。 波谱仪：5 eV左右 （谱峰重叠可能性小） 能谱仪： 145~155 eV 左右 （能谱峰互相重叠，谱峰剥离来区分） 3.探测极限 波谱仪：0.01～0.1％ 能谱仪：0.1～0.5％ 是指谱仪能测出的元素最小百分浓度。 4. X光子几何收集效率 波谱仪：＜ 0.2％ 要求试样表面平整光滑 严格 能谱仪： ＜ 2％ 试样表面要求不十分 严格 是指谱仪接收X光子数 与 源出射的X光子数 的百分比. 5.量子效率 波谱仪： ＜ 30％ 能谱仪：～100