有关压阻传感器的综述.docx

PAGE 10 压阻传感器 苏安明 （上海大学 机自学院， 上海） 摘要：压阻式传感器广泛地应用于航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。压阻式传感器也能够实现对压力、温度湿度、加速度和流量等一系列变量的测量。本文着重介绍了压阻传感器的基本原理，并介绍了基于MEMS的压阻传感器在压力、温度、湿度、加速度和流量测量方面的新型设计与应用。随着微电子技术和计算机的进一步发展，压阻式传感器的应用还将迅速发展。 关键词：压阻式传感器；压力；温度；湿度；加速度；流量 Piezoresistive Sensors Su An-ming （School of Mechatronic Engineering and Automation, Shanghai University, Shanghai） Abstract: Piezoresistive sensors are widely used in aerospace, aviation, marine, petrochemical, power machinery, biomedical engineering, meteorology, geology, seismic and other fields. Piezoresistive sensors can measure the pressure, temperature, humidity, acceleration, flow etc. This article highlights the basic principium of piezoresistive sensors, and introduces the new design of MEMS-based piezoresistive pressure sensors in measuring temperature, humidity, acceleration and flow . As the further development of Microelectronics and computer technology, the application of piezoresistive sensors will also develop rapidly. Key words: sensors; pressure; temperature; humidity; acceleration; flow 目前，压力传感器种类很多，有振动筒式、石英波登管式、压阻式、应变片式等多种。其中振动筒式压力传感器虽然不确定度可达0.02%F·S，但它仅适用于测量以气体为介质的压力，测压范围很小；石英波登管式压力传感器不确定度能达到0.02%，测压范围也很大，可达60MPa以上，但这种传感器结构复杂、成本高；应变式压力传感器测量上限一般不超过25MPa,不确定度为1%F·S,目前市场上有上限达60MPa的这类压力传感器,但制作工艺较差,可靠性低,特别是1MPa以下的传感器,不确定度很难达到0.04%F·S;压阻式压力传感器利用单晶硅的压阻效应制成,它采用集成电路工艺,结构简单,测压上限可达到60MPa,具有工作可靠、耐腐性、抗干扰能力强等特点，国内有些厂家利用美国生产的传感器芯片，加上严格的组装工艺，其不确定度可达0.04%F·S以上，在压力测量领域得到了较广泛的应用。压阻式传感器采用集成电路工艺加工，因而结构尺寸小，重量轻。压阻传感器压力分辨率高，它可以检测出像血压那么小的微压；频率响应好，它可以测量几十千赫的脉动压力。由于传感器的力敏元件及检测元件制在同一块硅片上，所以它工作可靠，综合精度高，且使用寿命长。 压阻传感器原理 压阻式传感器的基本原理 电阻式传感器是将输入的机械量应变ε转换为电阻值变化的变化原件。电阻变换器的输入量为应变ε= ΔL ∕L，即材料的长度相对变化量，它是一个无量纲的相对值。通常ε=10-6为一个微应变。电阻变换器的输出量为电阻值的相对变化量ΔR ∕R。电阻变换器有金属电阻变换器和半导体电阻变换器两种类型。根据半导体材料的压阻效应：（Δρ/ρ）= πσ，且σ=E ε，其中:σ是应力,π是压阻系数，E是杨氏弹性模量,所以电阻的相对变化为：（ ΔR ∕R）≈πE 供电及信号处理电路 压阻式传感器可以用恒压源供电，也可用恒流源供电，但恒压源供电与恒流源供电相比存在环境温度影响不能消除的问题（图1）。 假设四个扩散电阻的起始阻值都相等且为R,当有应力作用时,两个电阻阻值增加,增量为ΔR,另两个电阻阻值减小,减小量为ΔR.由于温度影响,使每个电阻阻值都有ΔRt的变化量,因此,电桥的输出： 图1 恒压源与恒