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第 36 卷 第 5 期 Vol. 36, No.5
2017 年9 月 Journal of Applied Acoustics September, 2017
⋄ 研究报告⋄
新型表面波电流传感器优化设计
仝 杰 张 薇 王兴隆 王诗月 贾雅娜 王 文
(1 国家电网公司中国电力科学研究院 北京 100192)
(2 中国科学院声学研究所 北京 100190)
(3 中国科学院大学 北京 100049)
摘要 本文对结合磁致伸缩效应的新型声表面波电流传感器进行优化设计。传感器采用80 MHz 声表面波双
通道延迟线型差分振荡器，并在传感通道SAW 器件表面声传播路径上溅射磁致伸缩薄膜，利用薄膜材料在电
流激发磁场作用产生的磁致伸缩效应引起声传播速度的变化，并以相应振荡器频率的变化来表征待测电流。
通过对不同磁致伸缩材料(FeCo 和FeNi) 以及薄膜厚度的传感效应进行分析，用以为传感器的优化设计提供
思路，并通过实验进行验证，实验结果显示，相对于FeCo 而言，采用FeNi 作为敏感材料的电流传感器具有良
好的重现性、线性度以及较高的灵敏度。
关键词 声表面波，电流传感器，磁致伸缩效应，铁钴，铁镍
中图分类号: TP212.1 文献标识码: A 文章编号: 1000-310X(2017)05-0389-06
DOI: 10.11684/j.issn.1000-310X.2017.05.003
The optimum design of new SAW-based current sensor
TONG Jie ZHANG Wei WANG Xinglong WANG Shiyue JIA Yana WANG Wen
( China Electric Power Research Institute of State Grid, Beijing , China)
( Institute of Acoustics, Chinese Academy of Sciences, Beijing , China)
( University of Chinese Academy of Sciences, Beijing , China)
Abstract In this paper, a novel SAW current sensor based on the magnetostrictive effect was optimal de-
signed. This SAW current sensor used 80 MHz SAW dual-channel delay liner differential oscillator, and magne-
tostrictive film was deposited on the SAW propagation path. The magnetic field of the desired current induces
the film’s magnetostrictive strain, changes the SAW phase velocity, then the corresponding differential oscilla-
tion frequency change was u
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