精密测量技术第二章长度尺寸测量.pptVIP

§2－1 长度基准和米定义 “米”作为长度计量单位起源于1790年。 §2－1 长度基准和米定义 §2－1 长度基准和米定义 目前，在实际工作中常使用下述两种实物基准：量块和线纹尺。首先由稳定激光的基准波长传递到基准线纹尺和一等量块，然后再由它们逐次传递到工件，以确保量值准确一致。 §2－1 长度基准和米定义 §2－2 量块的检定 一、量块的基本概念 量块按检定精度分为1、2、 3、4、5、6等，其中1等精度最高。 §2－2 量块的检定 二、量块的检定 一、线纹尺概述 一、用通用量仪测量 二、用工具显微镜测量轴径 2．测量刀法 原理：用直刃测量刀接触测量轴径，在测量刀上距刃口0.3mm处有一条平行于刃口的细刻线，在工具显微镜上测量时，用这条细刻线与测角目镜中米字中心线平行的第一条虚线对线瞄准读数。 三、轴径测量中的误差 一、接触法测量孔径 二、非接触法测量孔径 一、概述 直接测量 用通用量具 　　　用测长机：大尺寸量值传递、高精度工件； 　　　用激光干涉仪：依相干原理、以波长为基 准、非接触、高精度。 间接测量 辅助基面：主要是测量大尺寸工件的外尺寸 弦 高 法：直径1000mm至10000mmm的非整圆 的内外径 围 绕 法：通过测周长求直径 长杆量规：简便、现场常用 对 滚 法：利用对滚原理，被测圆柱与标准 滚柱比较转角进行测量； 经纬仪法：不仅可测量直径和长度，还可测 量安装位置误差。 二、大尺寸的直接测量法 3．激光干涉测量法 由于激光具有良好的方向性、单色性和相干性等优点，采用激光器作为光源, 以激光稳定的波长作基准，利用光波干涉原理实现大尺寸的精密测量是目前大尺寸测量中比较理想的方法。 （1）单频激光干涉测长 单频激光干涉仪是将同一激光器发出的光束，经分光镜后分成相同频率的参考光束和测量光束,它们分别经固定参考棱镜和随被测件移动的可动棱镜(图2-38)反射，而在分光面上重新产生干涉，相应的被测长度对应于干涉场的干涉条纹信号变化的次数，通过光电接受、转换和电路处理，求出相应被测长度的数值。其基本测量原理同迈克尔逊干涉仪。 单频激光干涉仪一般没有专门的空气折射率测量装置，在进行大尺寸测量时，温度误差将对被测件的尺寸有较大影响，故对测量环境应有一定的要求，必要时应对上述影响进行修正。 三、大尺寸的间接测量法（自学） 二、用激光能量法测量光纤直径 三、小球径的测量 一、米定义的内容 二、什么是长度量值传递？长度量值传递的实物有几种？ 三、量块的基本概念，四个基本性质、有关量块的几个名词术语 四、量块的检定（平面度、中心长度。平面平行性 五、线纹尺的检定 六、轴类零件的测量（测量方法、误差计算） 七、孔类零件的测量（测量方法） 八、大尺寸的测量 课堂练习 1、用游标卡尺测量一直径为500mm的轴径，已知卡尺两量爪的工作长度为60mm，其平行度误差为0.15mm，求产生的测量误差。 2、用孔径测量仪测量孔径时，如果测头直径d=2mm，被测孔径的公称值为5mm，则量块阶梯高度h应为多少？当测头与被测孔的右、左孔壁正确接触时，由相应位置的反射镜和两量块表面反射的光产生干涉并将其零次干涉带调整到视场中心，楔形块鼓轮的读数分别为L1=11，L2=21，且已知鼓轮刻度值为0.098微米，试求被测孔径的实际值D为多少？ §2－ 6 大尺寸的测量 3、激光干涉测量法 ①用单频激光干涉仪测量大尺寸 §2－ 6 大尺寸的测量 ②双频激光干涉测长法 多普勒效应 实验证明，当光波接收装置相对光源作相对运动时，单位时间内接收装置所接受到的光波数（即频率f），将与光源实际发出的光波数量（频率f0）有所不同。这种现象称为光的多普勒效应。 §2－ 6 大尺寸的测量 §2－ 6 大尺寸的测量 1、辅助基面法 2、弦高法 3、围绕法 4、用长杆规测量大孔直径 5、用两杆三点法测量大尺寸 6、对滚法 7、经纬仪法 §2－ 7 微小尺寸的测量 一、用激光衍射法测量金属细丝直径 一般的钢丝直径常用电感测微仪以接触法进行测量，这种方法受测量力的影响很大，即使在测量力较小的情况下，其相对测量误差也是较大的，而且容易引起细丝的弯曲变形。此外，如测力过小，也由于测量不稳定而无法保证测量精度。近年来由于激光技术的发展，为测量细丝直径提供了新的测量原理和方法。 夫琅和费衍射原理 当光源和衍射场(即屏幕P)都距衍射物(小孔、狭缝等)无限远时的衍射称为夫琅和费衍射(或平行光衍射)，实际上只要光源、屏幕离衍射物有足够大的距离部可认为是夫琅 和费衍射