基于微机电系统工艺的微型左右手复合传输线宽带滤波器.pdfVIP

第 卷第 期 机 械 工 程 学 报 Vo l . N o . 年 月 CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING 基于微机电系统工艺的微型左右手 复合传输线宽带滤波器* 1 1 1 1 1 黄闯 ，陈迪 ，靖向萌 ，陈翔 ，刘景全 ， 1 2 2 2 朱军 ，魏文婕 ，魏泽勇 ，李宏强 1（微米纳米加工技术国家级重点实验室，薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海交通大学微纳科技研究 院，上海 200040） 2 （同济大学物理系，上海 200092） 摘要：设计并采用 MEMS 工艺加工制备了一种微型左右手复合传输线宽带滤波器。器件主要结构由两条平行的金 属蛇形线构成，蛇形线的末端接有金属圆片作为接地单元。蛇形线对产生左右手电感和电容。通过改变