液体静压导轨的仿真和试验模态分析-重型机械.pdfVIP

２０１３Ｎｏ３　　　　　　　　　　　　　　　 　　　重 型 机 械 ·２１· 液体静压导轨的仿真和实验模态分析 １ ２ １ １ １ １ 郝　乐 ，刘一磊 ，郝　瑾 ，马　波 ，成法坤 ，汪　洋 （１中国重型机械研究院股份公司，陕西　西安　７１００３２； ２哈尔滨工业大学，黑龙江　哈尔滨　１５０００１） 摘　要：液体静压导轨在超精密机床中有着广泛的应用，其对机床的动态性能有重要的影响，因 此要确定导轨的动态特性。本文对所设计的液体静压导轨进行了仿真和实验模态分析，得到了导轨的 固有频率，模态阵型及阻尼系数等模态参数，为静压导轨的设计与使用提供参考依据，同时也为全面 掌握液体静压导轨的性能与整机建模分析打下了基础。 关键词：液体静压导轨；仿真；实验；模态参数 中图分类号：ＴＧ５１９３　　文献标识码：Ａ　　文章编号：１００１－１９６Ｘ（２０１３）０３－００２１－０５ Ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎａｎｄｍｏｄａｌａｎａｌｙｓｉｓｏｆｈｙｄｒｏｓｔａｔｉｃｇｕｉｄｅｗａｙ １ ２ １ １ １ １ ＨＡＯＬｅ，ＬＩＵＹｉｌｅｉ，ＨＡＯＪｉｎ，ＭＡｂｏ，ＣＨＥＮＧＦａｋｕｎ，ＷＡＮＧＹａｎｇ （１ＣｈｉｎａＮａｔｉｏｎａｌＨｅａｖｙＭａｃｈｉｎｅｒｙＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅＣｏ．，Ｌｔｄ．，Ｘｉａｎ７１００３２，Ｃｈｉｎａ； ２ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｃｈａｔｒｏｎｉｃｓＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＨａｒｂｉｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈａｒｂｉｎ１５０００１，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｈｙｄｒｏｓｔａｔｉｃｇｕｉｄｅｗａｙｓａｒｅｗｉｄｅｌｙｕｓｅｄａｎｄｈａｖｅａｇｒｅａｔｅｆｆｅｃｔｏｎｄｙｎａｍｉｃｐａｒａｍｅｔｅｒｓｏｆｕｌｔｒａｐｒｅｃｉ ｓｉｏｎｍａｃｈｉｎｅｔｏｏｌｓ，ｓｏｄｙｎａｍｉｃｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｇｕｉｄｅｗａｙｈａｓｔｏｂｅｏｂｔａｉｎｅｄ．Ｓｉｍｕｌａｔｅｄａｎｄｍｏｄａｌａｎａｌｙｓｉｓｏｆ ｔｈｅｄｅｓｉｇｎｅｄｈｙｄｒｏｓｔａｔｉｃｇｕｉｄｅｗａｙｗｅｒｅｄｏｎｅａｎｄｔｈｅｍｏｄａｌｐａｒａｍｅｔｅｒｓｉｎｃｌｕｄｉｎｇｎａｔｕｒｅｆｒｅｑｕｅｎｃｙ，ｍｏｄａｌ ｓｈａｐｅｓａｎｄｄａｍｐｉｎｇｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔｗｅｒｅｏｂｔａｉｎｅｄ，ｗｈｉｃｈｐｒｏｖｉｄｅｄａｒｅｆｅｒｅｎｃｅｆｏｒｍａｓｔｅｒｉｎｇｔｈｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ，ｄｅ ｓｉｇｎｉｎｇａｎｄｕｓｉｎｇｔｈｅｈｙｄｒｏｓｔａｔｉｃｇｕｉｄｅｗａｙ，ａｎｄｌａｙｉｎｇａｆｏｕｎｄａｔｉｏｎｆｏｒｍｏｄｅｌｉｎｇａｎａｌｙｓｉｓｏｆｗｈｏｌｅｍａｃｈｉｎｅ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｈｙｄｒｏｓｔａｔｉｃｇｕｉｄｅｗａｙ；ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ；ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔ；ｍｏｄａｌｐａｒａｍｅｔｅｒ 态性能的同时还应根据工作情况兼顾动态性能， ０　前言 特殊情况下动态性能可能成为主要矛盾，并直接 超精密机床的加工性能与动态特性有密切关 关系到整个机床的性能，所以对液体静压导轨进 系，尤其在工作时产生的振动不仅会影响机床动 行动态分析十分必要，而模态分析是动态分析的 态精度和工件的表面质量，而且还会降低生产效 重要部分。此外在超精密机床的液体静压导轨 率和刀具耐用度，甚至会降低机床的使用寿命， 中，由于各个零件的机加工和部件的组装中存在 同时产生的噪声对环境有严重影响，因此超精密 误差，同时导轨结构在油膜压力下发生变形，使