第二部分第五章真空技术.pptVIP

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;5.1 概述;真空在冶金中的应用: 1) 过滤; 2) 保存易腐物质; 3) 熔点、沸点下降,有利于干燥、提纯、分离; 4) 传热速度下降,有利于隔热; 5) 电绝缘性良好; 6) 分子碰撞机会少,可制作加速器; 7) 固体对气体吸附少,有利于物料的表面分析。;5.2 真空获得;获得真空的基本方法:;真空泵按工作特点可分为两类: 1、传输泵:把气体直接或间接传输到大气中,又分容量泵和动量泵。 容量泵:往复式、滑阀式、旋转式。 动量泵:分子泵、喷射泵。 2、捕???泵:将气体暂时或永久贮存在泵中,不排到大气。 如吸附泵、升华泵、低温泵。;真空泵简介:;机械泵:利用机械旋转造成吸气和排气获得真空 ;5.2.2 旋片式真空泵;2)工作原理; 有害空间的存在影响泵的极限真空度; 抽可凝性气体时需装气镇阀。 ;3)注意事项;5.2.3 扩散泵;;扩散泵只能作为次级泵使用! 存在两个反扩散: 1)泵底部和上部被抽气体的密度差形成的反扩散; 2)油分子与被抽气体分子碰撞,改变方向进入被抽系统。 改进措施:改善喷嘴设计、提高扩散泵油质量、加装冷阱。;使用扩散泵注意事项。;其他类型的真空泵;;课堂作业;5.3 真空的测量;两种测量方式的比较:;5.3.1 热电阻真空计;2)工作原理: 当气体压强较高时,气体导热系数与压强无关,当气体压强较低时,气体导热系数与压强有关。热电阻真空计通过测量与温度有关的物理量(电阻)的变化来测量真空。 r1:具有高的温度系数;r2:具有低的温度系数; r3=r4,固定电阻。 随抽真空的进行,压强降到足够低时,因气体浓度降低,与热丝碰撞的气体分子减少,气体分子带走的热量减少,但加热电流不变,故热丝的温度随真空度的上升而上升,电阻发生变化。 电阻~真空度 关系曲线。 测量范围:102~10-1Pa,高、低真空不能测。 用补偿管代替r2减少室温的影响。;24;5.3.2 热偶真空计 热偶真空计的原理与热电阻真空计类似,只是热偶真空计测量的是温度的变化,如图5-8。; 测量端实际上是一个热电偶,测量热丝温度的变化。测量时维持热丝加热电流不变,当热丝处在真空中时,随真空度上升,热丝温度上升,热电偶的输出电势增大,热电势的大小间接的反映了真空度的高低。 热偶与热电阻两种真空计的优缺点: 优点:能连续读数,结构简单、使用方便,可远距离测量。系统突然漏气时真空计不会损坏。 缺点:读数与气体种类有关,刻度曲线不能通用;有热惯性;外界温度对测量结果有影响;热丝表面情况对测量也有影响。;;1) 工作原理:电子通过稀薄气体时可使气体电离,在一定温度下,气压低于10-1Pa时,电离产生的正离子电流与电子电流的比值正比于气体压强: P∝ I+/I- I+:正离子电流, I-:电子电流 如果定义压强为102Pa,电子电流为1mA时的离子电流K为电离真空计的灵敏度,则可得: P∝I+/KI-=I+/C(I-保持恒定时) C称为电离真空计的常数,取决于真空计的结构、连接线路、电子电流的大小以及两极的电位,也取决于残余气体的种类。;2)电离真空计的刻度和测量范围 电离真空计的刻度也是与绝对真空计相比较而得出的,除高压段和低压段外,在10-1 ~10-6Pa之间,其刻度曲线是一条很好的直线,因而热阴极真空计的测量范围在10-1 ~10-6Pa。不同气体的刻度曲线是不一样的。通常,热阴极电离真空计的刻度曲线是对空气作出的。 如图:; 3)优缺点 优点:可连续读数、可远距离测量、体积小、惯性小;可用于制作超高真空计; 缺点:易损坏、正离子吸附可影响测量、玻璃与电极间的放气影响测量。;复合真空计;5.4 真空系统;5.4.2 常用附件 真空活塞:有金属的,也有玻璃的;连接与开关 真空阀门:同活塞 冷阱: 可使某些气体在冷阱中被捕捉从而进一步提高真空度或对某些气体进行分离。 5.4.3 真空清洁 1)橡胶制件的清洁:氢氧化钠溶液; 2)玻璃零件的清洁:洗液; 5)金属制品的清洁:有机溶剂去油。;5.4.4 真空系统抽气的几个术语 (1) 气流量Q 式中 V-气体体积,m3 p-压力,Pa t-时间,s (2) 真空管路的流导C 式中 Q-气流量, Pa.m3/s p2, p1-管道两端的压力。 (3)抽气速率 ;5.5 真空检漏;;作业

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