可进一步提高机床的分辨率,高精度微量进给装置已可达到0.001~0.01μm的分辨率 ; 可用于加工误差的在线补偿; 可用于实现超薄切削。 1.3.5 进给驱动系统 微量进给装置 微量进给装置的作用: ①机械传动或液压传动式; ②弹性变形式; ③热变形式; ④流体膜变形式; ⑤磁致伸缩式; ⑥电致伸缩式。 1.3.5 进给驱动系统 微量进给装置的类型: 1.3.5 进给驱动系统 1.3.5 进给驱动系统 压电或电致伸缩微量进给装置的特点: ①具有良好的动态特性; ②可用于实现自动微量进给、误差在线补偿。 平时电致伸缩陶瓷片两片成一对,中间通正电,两侧通负电,将很多对陶瓷片叠在一起。正极联在一起,负极联在—起,即组成一个电致伸缩传感器。陶瓷片在静电场作用下将伸长,当静电场的电压增加时,伸长量也增大。 1.3.5 进给驱动系统 一是依靠一定精度的机床来保证,即要求机床的精度高于工件所要求的精度,称之为“蜕化”原则或“母性”原则。 二是在精度比工件要求低的机床上,加工出高精度的工件,利用在线检测和误差补偿技术,可以实现这个目的。这就是所谓的“进化”原则或“创造性”原则。 超精密机床,都装有双频激光随机检测系统和精密数控系统组成反馈闭环控制系统,以保证加工的尺寸精度。 1.3.6 在线检测与误差补偿技术 保证零件加工精度有两条途径: --检测机床运
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