气体放电伏安特性对TiN薄膜结构和性能的影响.pdf

第46 卷 第5 期 稀有金属材料与工程 Vol.46, No.5 2017 年 5 月 RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING May 2017 气体放电伏安特性对TiN 薄膜结构和性能的影响 1 2 1 1 杨 超 ，蒋百灵 ，郝 娟 ，冯 林 ( 1. 西安理工大学，陕西 西安 710048) (2. 南京工业大学，江苏 南京 211816) 摘 要：针对溅射离子镀离化率低及多弧离子镀易产生微米级熔滴喷溅这一长期制约离子镀技术发展的难题，依据金 属靶材内部电子在通过电阻值较大的组织缺陷处会导致该区域温度上升的焦耳热效应和金属表面高温下电子热发射等 物理学现象，建立以离子碰撞和靶材热发射为脱靶机制的新型微弧离子镀技术。通过氩离子的轰击动能和金属靶