气体激光器射频至微波放电激发的某些规律-光子学报.pdf

30 5 光　子　学　报Vol. 30 No . 5 2001 5 ACTA PHOT ONICA SINICA May 2001 1 1 1 2 1 1 周引穗　高爱华　郑新亮　李恩玲　胡晓云　陆治国 ( 1 , 7 10069; 2 , 710048) ) 本文研究了射频至微波激发 和 - 原子激光器及 2 分子激光器, 结合各 X H N CO 具体激光器 实验结果对其放电物理进行了讨论, 提出获得高效率 关键是有效控制放电空 间 电子能量, 得出了一些有指导意义 结论. 射频至微波激励; 气体激光器; 放电物理; 等离子体; 类法拉第暗区; 多极放电 0 1, 2, 3 60 , 30MHz . , CO2 , . . 70 , CO2 CO2