具有双光栅结构的高提取效率发光二极管的设计资料.pdfVIP

具有双光栅结构的高提取效率发光二极管的设计资料.pdf

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第 卷第 期 年 月 ! # 红外与激光工程 $%% ’% ()*+! ,)+# !#$%$’()*(+),$(-./$/.((!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!-./+ $0% 具有双光栅结构的高提取效率发光二极管的设计 ! ! ! ! 许振丰 苏 萍 曹良才 何庆声 金国藩 清华大学 精密测量技术与仪器国家重点实验室 清华大学 富士康纳米技术研究中心 北京 4 ! 1 ! 3%%%5KM ! ! 摘 要 设计了一种新型的具有较高光提取效率的双光栅结构的发光二极管 它在传统光栅发光 二极管的有源层的下表面增加了光栅结构 提取出原本受限于全反射的光 获得了更高的光提取效 ! ! 利用三维严格耦合波理论对该结构的光学性能进行了分析 计算结果表明 这种新型的双光栅结 率 ! ! 构发光二极管的提取效率可达传统平板型的 +! 倍 ! # # # 关键词 发光二极管 光栅 提取效率 严格耦合波理论 中图分类号!-K! +3 文献标识码!S 文章编号!3%%!$$ $$%% %%L!%3L!%! !#$% ’( ) *$%* +,-).,$’ (($.$./ 0$%*, !1$,,$% 2$’2 3$,* ,3’ .-’##2 %-4,$% #,-5.,5-# ! ! ! TU VHIF !BIFGN WU X=FGN YS- 8=FG .=N Z9 [=FG DHIFGN \], ^@) BF PW//I _I‘ 8a)b/)b‘ )B XbI.=D=)F cID@bI;IF/ dI.HF)*)G‘ FJ ]FD/b@;IF/DN dD=FGH@ UF=eIbD=/‘ N dD=FGH@ !f)?.)F ,F)/I.HF)*)G‘ gIDIb.H YIF/Ib N hI=Q =FG 3%%%5i NYH=FM ! 67#,-4., 8 dHI JID=GF )B H=GH I

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