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- 2019-10-25 发布于天津
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全新 形狀測量雷射顯微鏡
VK-X100/X200 系列
集顯微鏡· SEM · 粗糙度儀的功能於一身
形狀量測雷射顯微鏡登場
1 臺機器便可實現全功能覆蓋性的
解析度觀察和豐富的形狀量測。
全新
形狀量測雷射顯微鏡
VK-X100/X200
2
光學顯微鏡 SEM 粗糙度儀
提昇倍率後,焦點對不齊,解析度 前處理或樣品尺寸等的準備煩瑣, 不能夠實現一邊放大觀察,一邊
不足。 僅能以黑白色進行觀察。 對目標部位實施非破壞性的凹凸
測量。
使用雷射顯微鏡則可全部簡單地實現
全新 2 項新功能
廣角視野 WIDE-Scan
“高倍率下不太清楚”
對於提昇倍率後視野變窄的問題,由兼顧高速· 高精度的圖像連接WIDE-Scan 加以解決。
全自動量測 簡 單 AI-Scan
僅需按一下 “誰都可以實現相同的量測”
積累了KEYENCE 豐富拍攝經驗的AI-Scan 做到了僅需按一下量測開始按鈕,便可實現全自動
量測。
3
雷射掃描顯微鏡可以解決所有的課題
傳統設備的常見問題
光學顯微鏡
1 解析度和放大倍率有限 2 景深較淺 3 不支援可溯性
凹陷(6000 倍) 刀刃邊緣(1000 倍)
SEM
1 無法辨別色彩的黑白影像 2 準備工作和觀察耗費時間 3 受限於樣品尺寸
準備工作
樣品處理 沉積
放到觀察台
約 20 分鐘
觀察
啟動 真空處理 觀察
約 25 分鐘 有時候因樣品尺寸而無法放入樣品室進行觀察
墨粉(1000 倍)
粗糙度儀
1 接觸式量測易導致樣品損傷 2 難以量測所需目標 3 解析度受針尖直徑的限制
接觸式表面粗糙度量測儀
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