近場光學顯微鏡與原子力顯微鏡之奈米級標準片模擬量測模型建構與.pdfVIP

■ 成 果 報 告 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫 □期中進度報告 近場光學顯微鏡與原子力顯微鏡之奈米級標準片模擬量測模型建構與定性分析 Construction of the Simulative Measuring Models and Qualitative Analysis for the Nano-scale Calibration Standard Workpiece by Using the Near Field Scanning Optical Microscope and Atomic Force Microscope 計畫類別：■ 個別型計畫 □ 整合型計畫 計畫編號： NSC 93－2212-E－011－030－ 執行期間： 93 年 8 月 1 日 至 94 年 7 月 31 日 計畫主持人：林榮慶 共同主持人： 計畫參與人員：周明和 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交)：■精簡報告 □完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 □出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式：除產學合作研究計畫、提升產業技術及人才培育研究計畫、列管計畫及 下列情形者外，得立即公開查詢 □涉及專利或其他智慧財產權，□一年□二年後可公開查詢 執行單位：國立臺灣科技大學機械工程系 中 華 民 國 94 年 7月 31日 1 行政院國家科學委員會專題研究計畫結案報告 近場光學顯微鏡與原子力顯微鏡之奈米級標準片模擬量測模型建構與定性分析 Construction of the Simulative Measuring Models and Qualitative Analysis for the Nano-scale Calibration Standard Workpiece by Using the Near Field Scanning Optical Microscope and Atomic Force Microscope 計畫編號： NSC 93-2212-E-011-030 執行期間：93 年 08月 1日至 94 年 07月 31日