光学系统象质检验与.pptVIP

第五章光学系统象质检验与评价 §5-1 星点检验 一.星点检验原理 为克服物体上各点成像后弥散斑的作用，用以各点经过光学系统成像，观察其弥散斑，如果有误差及像差，弥散斑变形，利用人眼对此变形及亮度的变化，检验出象差这种方法称为星点检验。 位于无限远处的发光物点经过理想光学系统成像，在像平面上的光强分布已经研究得很清楚——符合物理光学中的夫朗和斐（Fraunhofer）衍射理论。 如果光学系统的光瞳是圆孔，则所形成的星点像是夫朗和斐型圆孔衍射的结果，在像平面上点光源像的强度分布可以用下式表示： §5-1 星点检验 二.星点检验装置 §5-1 星点检验 §5-1 星点检验 1.对平行光管的要求 平行光管口径大于待检物镜入瞳直径径且物镜像质较好 光源选用发射连续光谱且亮度大的灯如钨带灯，汽车灯泡等，并用聚光镜照明星孔，以便看清星点象的细节。 星孔直径的选择：为使星点衍射象有好的对比度和足够的衍射细节，星孔允许的最大角直径αmin应等于待检物镜艾里斑第一暗环的角半径θ1一半。 §5-1 星点检验 例：如果 §5-1 星点检验 2.被检系统支持部分：能自动定心或带偏心调整装置，以保证被测物镜和平行光管光轴显微镜光轴重合。 3.对观察显微镜的要求： 显微物镜数值孔径：为使待检物镜射出的光束全部进入观察显微镜，应要求显微物镜的数值孔径等于或大