薄膜物理第一章教学教材.pptVIP

第一章 薄膜制备的真空技术基础;要 点 ; 几乎所有的现代薄膜材料都是在真空或是在较低的气体压力下制备的，都涉及到气相的产生、输运以及气相反应的过程。; 大气压: atm, kg/cm2, bar Pa: N/m2 Torr: mm·Hg;§1.1 气体分子运动论的基本概念; 同一温度下不同气体的速率分布; 三、 气体分子的自由程、碰撞频率: ; 气体分子对单位面积表面的碰撞频率，称单位面积上气体分子的通量; 由于分子运动的无规性，运动的各个方向机会均等，因此，任何时刻分子运动方向在立体角中的几率为：; 单位时间内从立体角dΩ方向飞来的各种速度的分子数，只需对上式积分即可求得;所以任何角度，单位时间内碰撞dA的总分子数为：;代入平均速度的表达式可得; 假设每个向表面运动来的气体分子都是杂质，而每个杂质气体分子都会被表面所俘获，则可估计出不同的真空环境中，清洁表面被杂质气体分子污染所需要的时间为：;在常温常压下：? ? 3.5?10-9秒； 10-8Pa时： ? ? 10 小时;§1.2 气体的流动状态和真空抽速; 气体分子间的碰撞较为频繁。分子的平均自由程较短（即气体主要是在分子间的碰撞过程中流动）。;粘滞流状态 ;