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PAGE15 / NUMPAGES16 微细超声加工文献阅读报告 前言 近年来，随着航天工业，集成电路，电子计算机，生物医药等领域的发展，产品的微型化越来越收到重视，对微型高精度产品的需求也越来越大，而传统的加工方法已经不能满足这些产品的技术要求，因此研究微细加工具有重要意义[[] [] Xiaoxia Li, Jiuhe Wang, Wen Li.Current State and Prospect of Micro-Machining[J].International Conference on Automation and Logistics.2007 国际生产工程科学院的物理化学加工工艺科学技术委员会将微细加工定义为加工工件的尺寸范围在1um到500um之间的加工技术。微细加工能够实现的两个重要条件是材料去除单元小和加工设备的精度高。目前的微细加工技术主要有微细电火花加工、微细激光加工、微细超声波加工、微细切削、LIGA、微细铸造、微细研磨、微细冲压等加工技术[[] T.Masuzawa.State of the Art of Micromachining[J].Annals of the CIRP.2000,2(49):473-488.]。随着晶体硅、光学玻璃、工程陶瓷等脆硬材料在航天，微电子，微器械等行业的广泛使用，对脆硬材料的高精度微细加工技术成为一个重要的研究