薄膜屈曲力学分析研究报告.pptVIP

薄膜屈曲的力学研究;参考文献;屈曲：力学名词(buckling)。结构的一种失效。表现为当结构受到很高、但小于他所能承受的极限压应力的应力时，会失效。这种失效常归结于弹性不稳定性。 薄膜屈曲 ：是指材料受到压缩载荷导致的一种破坏模式，特征表现为垂直于载荷方向上大幅度的离面位移。 又称为泡（blister） 、脱层（delamination） 、褶皱（wrinkle） 。;电话线型屈曲 ;1.薄膜材料的重要利用价值和涂层技术的广泛 应用 2.薄膜中均存在残余应力 薄膜/ 基底结构通常是工作在残余应力和外加应力的联合作用下，破坏形式断裂和屈曲、散裂。 3.薄膜在纳米尺度上的变形和损伤直接影响到器件的性能和寿命。;薄膜屈曲的研究方法 ;薄膜屈曲的力学分析 ;1.直线型薄膜屈曲;1.直线型薄膜屈曲; 1.直线型薄膜屈曲 ;2.电话线型屈曲;2.圆泡型屈曲;外部单轴压应力，规则屈曲扩展;1.JW hutchinson给出了三类屈曲能量释放率和临界分叉力的解析式。 在一定假设下，利用有限元数值分析确定裂纹扩展前沿的形状及断裂力学参数。 当基底材料呈弹性全塑形行为时，利用有限元数值分析模拟了薄膜在拉伸载荷下的应变硬化及断裂过程 2. R. Huang针对覆盖玻璃层Si基上的SiGe膜，用线性扰动分析法确定了粘性层上弹性膜受压的临界波数和失稳模式的增长率。 ;3. M.W. Moon 等A