实验五、扫描电镜及其观察.PDFVIP

实验五、 扫描电镜及其观察 一、实验目的 1. 了解扫描电镜的构造及工作原理； 2. 扫描电镜的样品制备； 3．通过实际样品观察与分析，明确扫描电镜的用途。 二、实验仪器 扫描电子显微镜 （热发射扫描型号HITACHI-TM3000）、真空镀金装置。 三、基本结构与工作原理简介 扫描电镜利用细聚电子束在样品表面逐点扫描，与样品相互作用产生各种物理信 号，这些信号经检测器接收、放大并转换成调制信号，最后在荧光屏上显示反映样品表 面各种特征的图像扫描电镜具有景深大、图像立体感强、放大倍数范围大且连续可调、 分辨率高、样品室空间大且样品制备简单等特点，是进行样品表面研究的有效工具。 扫描电镜所需的加速电压比透射电镜要低得多，一般约在 1~30kV，实验时可根据 被分析样品的性质适当地选择，最常用的加速电压约在20kV 左右。扫描电镜的图像放 大倍数在一定范围内(几十倍到几十万倍)可以实现连续调整。放大倍数等于荧光屏上显 示的图像横向长度与电子束在样品上横向扫描的实际长度之比。扫描电镜的电子光学系 统与透射电镜有所不同，其作用仅仅是为了提供扫描电子束，作为使样品产生各种物理 信号的激发源。扫描电镜最常使用的是二次电子信号和背散射电子信号，前者用于显示 表面形貌衬度