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Fundamentals of Vacuum Techniques（III） 真空技术基础（三） Main Content 1、Adsorption of Gas 气体吸附现象 2、Gas Discharge under Low Temperature 低压下气体放电现象 Adsorption of Gas (吸附) 1、Interaction of Solid and Gas 吸附(Adsorption)：固体表面聚集一层或者多层气体的现象； 吸收(Adsorption)：气体扩散渗入固体内部并被溶解的现象； 解吸（Desorption）：被材料吸附的气体或者蒸汽的释放现象； 2、Basal Principle of Adsorption 吸附是真空技术中非常重要的问题，只要涉及的是气体与固体表面的相互作用。 被吸附的气体分子叫做吸附质，吸附气体分子的固体叫吸附剂。 吸附是固体物质的通性，但是有些物质的吸附能力特别强，如活性炭、硅胶、活性氧化铝、分子筛、金属钛、金属锆和金属钡等。 吸附现象在真空技术中要辨证地看待。 吸附产生的机理大致说就是由于固体表面附件的力场存在，它对于与其碰撞的气体分子而言扮演着一个势阱（Potential trap）的角色。 吸附剂与吸附质中间作用力分类两种：范德瓦尔斯力和化学键力。 范德瓦尔斯力源于电偶极子，强度随距离6次方衰减； 化学键力