大学物理光的干涉与衍射.pptVIP

3.任意两相邻亮纹(或暗纹)所对应的空气膜厚度差为 2.干涉条纹是明暗相间的平行直线条纹。此时叠合处为一暗纹。 (20-7) 明纹 暗纹 ? ek ek+1 l ?e 图20-10 4.设相邻两亮纹(或暗纹)间的距离为l，则有 l sin? =?e 明纹 暗纹 ? ek ek+1 l ?e 图20-10 (20-8) l sin? = 即 (20-7) 例题20-6 制造半导体元件时,常常需要精确地测量硅片上的二氧化硅(SiO2)薄膜的厚度,这时可用化学方法把二氧化硅薄膜一部分腐蚀掉,使它成为劈尖状(见图20-11)。已知SiO2和Si的折射率分别为n2=1.57和n3=3.42,所用波长为?=6000?，观察到劈尖上共出现8条暗纹,且第八条暗纹恰好出现在斜面的最高点。求 SiO2薄膜的厚度。 解 由薄膜公式，得： k=0,1,2,…... 此时尖顶处是亮纹还是暗纹？ 取k=7,得 图20-11 SiO2 e 1.57 3.42 Si 例题20-7 在检测某工件表面平整度时,在工件上放一标准平面玻璃,使其间形成一空气劈尖，并观察到弯曲的干涉条纹，如图20-12所示。试根据条纹弯曲方向,判断工件表面上纹路是凹还是凸?并求纹路深度H。 解 若工件表面是平的,等厚条纹应为平行于棱边的直线条纹。由于一条