日立S4800扫描电子显微镜.ppt

日立S4800扫描电子显微镜 葛泳 2012.6.29 一、日立S-4800的基本原理和结构 二、日立S-4800的操作和应用技术 三、日立S-4800的基本维护 电子显微镜的历史 1932年鲁斯卡发明创制了第一台透射电子显微镜实验装置(TEM)。 1965 年英国剑桥仪器公司生产第一台商品扫描电镜，之后与X射线分析系统(EDS、WDS) 结合，形成各种不同分析型电子显微镜。 1986年，宾尼格和罗雷尔先后研制成功扫描隧道电子显微镜(STM)和原于力电子显微镜(AFM)，使人类的视野得到进一步的扩展。 1.日立S4800的基本原理和结构 入射电子束在样品中激发出的各种信号 1 日立S-4800的基本原理和结构 SE的激发原理 二次电子（SE）是指被入射电子轰击出来的核外电子。携带有样品的表面形貌信息,通常来自样品表面5-50 nm的区域，能量为0-50 eV。 由于它发自试样表面层，入射电子还没有较多次散射，因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没多大区别。所以二次电子的分辨率较高，一般可达到50-100 Å。 扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨率。二次电子产额随原于序数的变化不明显，它主要取决于表面形貌。 1 日立S-4800的基本原理和结构 BSE的激发原理 背散射电子是指被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子。包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子.从数量上看，弹性背散射电子远比非弹性背散射电子所占的份额多。背散射电子能量在数千到数万电子伏。 背散射电子的产生范围在1000 Å到1 μm深，由于背散射电子的产额随原子序数的增加而增加，所以，利用背散射电子作为成像信号不仅能分析形貌特征，也可用来显示原子序数衬度，定性地进行成分分析。 1 日立S-4800的基本原理和结构 SE和BSE的电子能量幅度 1 日立S-4800的基本原理和结构 SE图像 BSE图像 1 日立S-4800的基本原理和结构 Al合金的背散射电子图像 1 日立S-4800的基本原理和结构 日立S-4800冷场发射扫描电镜的外观 样品仓 冷阱 电子枪 离子泵 样品交换仓 轨迹球 显示单元 控制板 能谱仪 1 日立S-4800的基本原理和结构 分子泵+机械泵 1 日立S-4800的基本原理和结构 发卡式钨灯丝 （热电子发射电子枪 ） 冷场发射灯丝 （冷场发射电子枪） 扫描电镜的电子束激发源 1 日立S-4800的基本原理和结构 扫描电镜的电子束激发源 1 日立S-4800的基本原理和结构 扫描电镜的电子束激发源 1 日立S-4800的基本原理和结构 不同类型物镜对样品尺寸的影响 1 日立S-4800的基本原理和结构 放大倍数的计算方式 1 日立S-4800的基本原理和结构 通过电场力和磁场力平衡入射电子束 1 日立S-4800的基本原理和结构 1 日立S-4800的基本原理和结构 电场力和磁场力偏转二次电子信号 1 日立S-4800的基本原理和结构 S4800可侦测信号 1 日立S-4800的基本原理和结构 SE SE+BSE 1 日立S-4800的基本原理和结构 BSE BSE+SE 1 日立S-4800的基本原理和结构 SE(U) SE(U,LA0) SE(U,HA) SE(U,LA100) 1 日立S-4800的基本原理和结构 日立S-4800 Super EXB各种模式的信号接收量 一、日立S-4800的基本原理和结构 二、日立S-4800的操作和应用技术 三、日立S-4800的基本维护 2 日立S-4800的操作和应用技术 如何获得更高分辨率的图像？？ 1．降低透镜的球像差以获得小的电子束斑尺寸 2．提高电子枪的亮度 3．提高对成像信息的接收效率 4．提高样品室的清洁真空度 5．尽量减小外界振动干扰 6．计算机控制调节图像的质量 2 日立S-4800的操作和应用技术 2.1 样品制备的注意事项； 2.2 扫描电镜最基本的操作：调焦消像散，对中； 2.3 下列参数选择对图像的影响：加速电压，工作距离，上下探头的选择； 2.4 荷电的产生原因及解决方法； 2.5 污染的产生原因及避免方法； 2.6日立S-4800的STEM附件 2.7 减速模式介绍。 主要内容 2 日立S-4800的操作和应用技术 1、粉末样品必须粘牢在样品台上（使用导电胶带或液体导电胶）； 2、磁性的（能被磁化或者被磁铁吸引）粉末或块状样品需要特别注意； 3、样品边缘不能超过样品台； 4、观察截面可以使用特制的截面样品台； 5、潮湿样品和易挥发样品不能放入样品仓； 6、样品放入样品仓前注意调整和测量高度。 2.1 样品制备的注意事项 2 日立S-4800的操作和应用技术 球面像差 C