华梵大学仪器设备配置概要.docVIP

PAGE 一 華梵大學儀器設備配置概要 建表日期︰ 94年02月14日 系統(設備)名稱 微機電及半導體系統 實驗(教)室名稱 微系統製程研究室 保管單位 機電工程學系 地點 世學館2F 負責人 胡毓忠 保管人 趙慧青 儀器設備名稱 規格 單位 數量 價值 購置日期 備考 氧化爐 12/75/60 台 3 350,000 85.06.15 LENTON 金屬蒸鍍機 VTI-95 台 1 600,000 85.05.30 台灣理科 電磁加熱攪拌器 PC-620 台 1 14,000 85.07.19 琦太 塗佈機(舊) 光阻旋轉器 台 1 59,000 85.07.19 琦太 油霧捕捉器 OMT-100 個 1 14,180 85.07.30 台灣理科 冰箱 NR-350FC 台 1 18,900 86.06.30 國際 烤箱 DK-600 台 1 35,000 86.06.30 上泰 對準儀 OAI Mode/204 台 1 1,700,000 87.06.01 資騰 不銹鋼沖孔工作桌 1200x800x850cm 張 2 23,000 88.03.12 東城 對準儀夾持具 光罩夾持具5吋,晶片夾持具4吋 組 1 192,039 89.07.01 資騰 塗佈機 4wafer 台 1 220,000 90.07.05 昇美達 金屬濺鍍器 機控與真空系統 台 1 945,000 90.07.12 倍強 濺鍍器系統附件 蒸鍍源,真空系統,RF電源供應器 台 1 905,000 91.05. 倍強 磁場量測儀 912T 個 1 105,000 85.03.21 分光儀驅動器 C5863 台 1 4,000 88.04. 脈波產生器 C5945 台 1 4,960 88.04. 數位相機 台 1 7,140 89.05. 電阻電容及電感量測儀 HP4284A 台 1 408,699 88.07. 影像處理器 S5436 台 1 1,800 88.04. 加熱器 HP-20D 台 1 8,000 92.11.06 高擎 電磁式加熱攪拌器 HMS-520E-4 台 1 11,800 92.11.06 高擎 光學液晶微測系統 含XY軸微動平台、分釐卡頭等10項 台 1 17,500 92.11.20 瑞文光學 表面輪廓儀 ET4000AKR 組 1 2,365,865 93.11. 三朋 儀器設備配置方塊圖： 支援教學/研究之功能： 實驗/用途名稱 簡要說明 備註(人數容量) 半導體製程 晶圓製程 (Wafer fabrication) 20 微機電製程 矽基微加工製程 (Si-base microfabrication) 20 半導體製程儀器與廠務設備實習 晶圓製程儀器與廠務設備(水、氣、電)實習 20 工業安全衛生訓練 有機溶劑作業訓練 特定化學物質作業訓練 化學災害防治訓練 火災防治訓練 地震緊急應變訓練 20 歷年教學之使用紀錄： 學年度(學期) 科目名稱 必(選)修 系級 每週時數 學生數 備註 (教師姓名) 87 (下) 專題研究 必 大三 3 龐大成 88 (下) 專題研究 必 大三 4 龐大成 89 (下) 專題研究 必 大三 5 龐大成 89 (下) 專題研究 必 大三 3 楊聲震 90 (下) 專題研究 必 大三 2 楊聲震 91 (上) 專題研究 必 大四 2 楊聲震 91 (下) 專題研究 必 大三 10 楊聲震 92 (上) 電子材料製程與加工 選 (機電所、電子所合開課程) 3 30 林智玲 92 (下) 專題研究 必 大三 6 胡毓忠 92 (下) 微光機電工程導論 選 大三 3 56 胡毓忠 92 (下) 微製造工程導論 選 大四 3 48 羅勝益 93 (上) 奈米工程導論 選 大四 3 50 93 (上) 半導體製程與設備 選 大四 3 31 胡毓忠 93 (上) 電子材料製程與加工 選 (機電所、電子所及院學程合開課程) 3 63 林智玲 93 (下) 專題研究 必 大三 4 胡毓忠 () 歷年完成之學位論文： [指導教授,研究生,(年,月)“篇名”,所別(學位別),頁數.] 龐大成,林智玲,蘇信銘,(87,09),“渦流位置感測器微型化設計製作及應用”, 電機工程研究所碩士論文. 楊聲震,李大青,(88.06),“光學影像檢測IC導線架表面缺陷”,華梵大學機電工程研究所碩士論文. 楊聲震,傅正德,(88.06),“智慧型打字印表機”,華梵大學機電工程研究所碩士論文. 龐大成,林欣銘,(88.06),“毫米級磁浮馬達設計與加工製作研究”,華梵大學機電工程研究所碩士論文. 楊聲震,王政揚,(89.06),“電容式微幫浦之研究”,華梵大學機電工程研究所碩士論文. 龐大成,王茂州,(90,01),“微型線性脈