光电测试技术-第5章 激光干涉测试技术(6／6).pptVIP

第5章 激光干涉测试技术 光电测试技术  哈尔滨工业大学 第5章 激光干涉测试技术 §5-8 纳米技术中的干涉测试技术 * * §5-8 纳米技术中的干涉测试技术 1986年G.Binnig和H.Rohrer发明了扫描隧道显微镜(STM)，人类第一次观察到了物质表面的单原子排列状态。此后，相继出现了一系列新型的扫描探针显微镜： 原子力显微镜（AFM）；激光力显微镜（LFM）； 磁力显微镜(MFM)；弹道电子发射显微镜（BEEM）； 扫描离子电导显微镜（SICM）；扫描热显微镜（STP）； 光子扫描隧道显微镜（PSTM）；扫描近场光学显微镜（SNOM）等，远远超出了光学方法已经取得的成就。 现代扫描显微镜技术吸取了光学技术的精华，光子扫描隧道显微镜利用了光纤探针和全反射时的瞬衰场，横向分别率达到1/10波长，垂直分辨率在纳米数量级；扫描近场光学显微镜则使用小孔光天线，分辨率突破了瑞利限制，已经达到了1/10波长数量级。 * * §5-8 纳米技术中的干涉测试技术 除了PSTM、SNOM直接使用光学原理工作外，其它扫描显微镜常常用光学方法作为位移传感器，干涉方法是主要的手段。 这类干涉仪不同于一般的位移干涉仪，它的量程很小，远远不到半个波长，但是分辨率要求很高（1nm）。 这种情况下噪声成为影响性能根本原因。主要噪声源有： 探测器的散粒噪声； 负载电阻的Johnson噪声；