光电测试技术-第5章 激光干涉测试技术(2／6).pptVIP

第5章 激光干涉测试技术 光电测试技术  哈尔滨工业大学 第5章 激光干涉测试技术 §5-2 激光斐索(Fizeau)型 干涉测试技术 * * §5-2 激光斐索(Fizeau)型干涉测试技术 光学干涉测试技术最初在光学零件和光学系统的检验中获得广泛应用。 在光学零件面型、平行度、曲率半径等的测量中，斐索型干涉测量法与在光学车间广泛应用的牛顿型干涉测量法（样板法或牛顿型干涉法）相比，属于非接触测量。 * * §5-2 激光斐索(Fizeau)型干涉测试技术 接触测量存在以下问题： ①标准样板与被测表面必须十分清洁； ②清洁工作多拿在手中擦试，由于体温的影响，影响测试准确度； ③样板有一定重量压在被测表面上，必然会产生一定的变形，尤其是对大平面零件。 斐索型干涉测量法中由于样板和被测表面间距较大，必须用单色光源，一般采用激光光源。 * * ②影响测试准确度的因素 1）光源大小和空间相干性 §5-2 激光斐索(Fizeau)型干涉测试技术 2.1 激光斐索型平面干涉测量 ①激光斐索型平面干涉仪的基本光路和原理 1 2 3 7 4 5 6 M1参考平面 M2被测平面 激光斐索型平面干涉仪基本光路图 计算例： 若h＝5mm，λ＝546.1nm，则θ17‘。 若取f‘＝500mm，则d5mm。 2）光源的单色性和时间相干性。 * * ②影响