激光干涉仪的镭射使用校验操作方式.docVIP

API激光干涉仪直线轴使用校验操作方法 二、FANUC Oi系列 CNC数控系统定位精度误差补偿 2.1螺距误差及反向间隙补偿参数介绍: 直线轴的数控精度补偿必须设定的参数有: (1No.1320 各轴的正向软限位。 (2No.1321各轴的负向软限位。 (3No.1800#4 切削进给和快速进给是否分别进行反向间隙补偿,0:否、 1:是。 (4No.1851 各轴的切削进给反向间隙补偿量,单位μm。 (5No.1852 各轴的快速进给反向间隙补偿量,单位μm。 (6No.3620 各轴参考点的螺距误差补偿号码,范围:0~1023。 (7No.3621各轴负方向最远端的螺距误差补偿号码,范围:0~1023。 (8No.3622各轴正方向最远端的螺距误差补偿号码,范围:0~1023。 (9No.3623各轴螺距误差补偿倍率,范围:0~100。①注释:存在不规律 现象,视设备出厂设置倍率为一倍,除去被厂商锁定的情况,下文会针对常见数设备倍率的选择做出解释。 (10No.3624 各轴螺距误差补偿点的间距,即螺距,范围:0 (11No.8135#0 NPE 使用存储型螺距误差补偿,此参数可以屏蔽螺距误差 功能 2.2补偿前的准备工作: (1查看上述所介绍的参数,用以确定机台螺距误差补偿的地址及所需测量的各轴的行程、螺距(数据采样的位置间隔,通过所需测量的行程与螺距来确