微机械系统建模与仿真技术研究-光学精密工程.pdf

第 10卷 　第6期 光学 　精密工程 Vol . 10 　No . 6 　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　 2 0 0 2 年 1 2 月 Optics and Precision Engineering Dec . 　2 0 0 2 ( ) 文章编号 　1004924X 2002 微机械系统建模与仿真技术研究 季国顺 ,张永康 (江苏大学 机械工程学院 ,江苏 镇江 2 120 13) 摘要 :简要分析了微电子机械系统建模仿真的原因 ,指出了微电子机械建模仿真需要克服的四个方面技 术难题 ,即尺度效应 、开发快速的表面力计算方法 、多物理场耦合分析 、宏模型的建立 ,为微电子机械系 统的建模仿真指明了研究方向。详细分析了微电子机械系统建模仿真的技术关键 ,多物理场耦合计算 的理论方法和器件及系统宏观模型的