原创力文档
6 4 Vol. 6, No. 4
1998 8 OPT ICS AND PRECISION ENGINEERIN G August, 1998
钟先信 李建蜀 肖沙里 徐 涛 朱维安
( 重庆大学微系统研究中心 重庆630044)
缪秀娥
( 华南 工大学机电工程系 广州510641)
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