激光干涉仪检定内径千分尺.docVIP

一. 激光干涉仪概述 SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合,可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测,可以进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等,具有极高的精度和效率,为机床误差修正提供依据。 二. 激光干涉仪原理 激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉(见图。若光程差没有变化时,探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。 若光程差有变化时,探测器会在每一次光程变化时,在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。 三.激光干涉仪测量内径千分尺示值误差说明 示值误差采用测长机配激光干涉仪进行测量。测量时先在测长机头座和尾座的测杆上安装不小于~8 mm 的平面测帽,并将其两测帽的工作面调整平行。被检内径千分尺直接或借助支撑架安置在仪器工作台上,根据仪器的示值调整测微头的测量下限至正确位置。每次测量 均需