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半导体工厂排气系统简介 一、Exhaust 功能： ? ? ? 由于半导体厂生产流程中会用到各种各样的化学品（液态、气态），所以从机台排气端把有异味的酸、碱、有机物等有害的气（或水气混合物）通过负压抽至主系统中，然后处理至达标是exhaust系统的主要功能，同时也需要把配合真空系统将chamber/gas box中可能泄露的有毒有害特气抽至主系统中，再经过净化或回收处理达到排放标准后排至大气。 ? ? ? ?当涉及exhaust hook up安装施工部分时，一般指从POU到take-off point部分，因工艺设备move in时间与主系统施工并非同时进行，故一般不涉及主系统的排气系统，设备定位后，开始hook up部分施工。按排气性质差别，一般分为如下几类： GEX:general exhaust (主要是机台的发热等产生的一般的空气，也包含bulk gas的gas-box的排气) SCX:scrubber exhaust(主要指酸气及其水气混合气，也包含大多数的特气的gas-box的排气以及备品柜的排气) AEX:ammonia exhaust(主要指氨水的排气，也包含DEV的排气) VEX:volatile organic compound exhaust(主要指有机物异味排气) 二、Exhaust system?参数： 真空度：10~700Pa(150-200pa) 使用值/流量：200-500Pa/10~100,000 LPM； 尺寸：1/4“，3/8 “，1/2 “ ，2 “~ 12“； 材质：PFA，PVDF，SUS304，SUS304+coating，Galvanized ，帆布软管，铝薄软管，PVC。 控制部件：damper?风压表;风速测量口； 主要的连接形式：法兰式，丝接式(union,flare,NPT)?Clamp,喉箍式（推拔），承插式 三、风管安装前注意事项： 1.风管安装的空间管理。 2.测试口的位置。 3.风压计的位置。 4.风速测试记录，计算风量。 5.调节风量平衡。 6.因为暂时无法进行现场的测试，所以必须特别注意管子连接时的密封材料的情况，以及实际密封的现状。 四、Exhaust system部分使用材料： EPDM:全称乙烯丙烯橡胶 特点:具有良好的耐氧化性，耐臭氧性。不适合油和脂，有机酸。 ?最高允许温度:恒温-９０ ℃~１５０ ℃?。 允许压力：30—90KG/CM2 PE:全称聚乙烯，英文名为Polyethylene，密度为0.95g/cm3。 特点:质地软，耐腐蚀，无毒可用于饮用水输送，最高工作温度为60 ℃ ，材料拉伸弹性较好，但受热变形较大。 应用领域:地板采暖、压缩空气、二次污染物、牛奶、食品、器具制作、气体和水分配系统 不推荐用于:氧化性酸类和卤素 高温应用(60 ℃)? VITON?氟橡胶(viton)? FX系列低压缩永久变形氟橡胶可满足长期在-40-250℃，短期300℃空气或-40-180℃石油基燃油、润滑油、双酯类合成滑油和硅酸酯类合成润滑油系统中长期使用。 FX-16?氟橡胶胶料，-20-200℃下长期使用，250-300℃短期。是集低摩擦系数（0.2）、高导热、自润滑性和对金属材料高的粘接性能于一身的高品级的氟橡胶材料。它是作为高性能动密封和油封橡胶件的理想材料。? 五、Exhaust system管件要求： 5.1弯头： ? ? ? 布置管道时，应尽量取直线，减少弯头。圆形风管弯头的曲率半径一般应大于（1～2）倍管径。 ? ? ?应尽量避免弯头与弯头直接（流向相反的）连接，其中间要有一定长度的直管。 ? ? ?马蹄口的使用一般为GEX系统，仅为散热之用。其他系统特别是SCX系统使用马蹄口的情况要谨慎使用。 5.2三通 ? ? ? ?三通内流速不同的两股气流汇合时的碰撞，以及流速改变时形成的涡流都可能造成局部阻力，而两股气流在汇合中的能量损失各不相同。 为减少三通的局部阻力，其支管和干管的连接，应减小其夹角，所有支管应于变径接头大端处以不超过45o角接入主风管（30o为最佳），但是实际工程中多使用的为90o的正三通。 支风管只能从主风管的上方或侧方引入，且两风管不可在同一断面的相对方向接入主风管，两接入点必须错开一定的距离 。 ?在空间比较有限的情况下，可以用正三同代替90o弯头。 除一般排气外，Exhaust system系统严禁现场做挖眼三通，需采用成品三通，此外，Exhaust system安装过程需配合气体GDS施工。 六、部分工艺设备排气特性 6.1 含酸类清洗机： 使用温度比较高(~80℃)的酸的水溶液，极易形成酸雾被吸入SCX风管，遇冷(22.5 ℃ )的风管就会形成酸液在低位积聚。而当此风管密封比较差时，漏酸的概率将非常高，处理措施: