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柠檬酸盐体系铜电沉积及其在微机电系统中的应用-Core.pdfVIP

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  • 2019-10-26 发布于天津
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柠檬酸盐体系铜电沉积及其在微机电系统中的应用-Core.pdf

    物理化学学报(Wuli Huaxue Xuebao) ： 2625 October Acta Phys. -Chim. Sin., 2010, 26(10) 2625-2632 [Article] 柠檬酸盐体系铜电沉积及其在微机电系统中的应用 吴伟刚1 杨防祖1,* 骆明辉2 田中群1 周绍民1 1 厦门大学化学化工学院 固体表面物理化学国家重点实验室 福建厦门

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