MAU系统操作 规范.docVIP

MAU系统操作规范 目的 建立一套完整正确的设备运转操作程序，使设备维持最佳的运转状态，延长设备的使用寿命，防止设备产生故障； 适用范围 A6-1 MEMS厂务所有MAU系统; 装置说明 MAU组成部分及作用： 3.1.1无纺布滤网：将5μm以上微粒的particle进行过滤处理。 3.1.2预热盘管：在冬季，将相对湿度较低的外气进行加热，提高外气的焓湿能力，但绝对湿度保持不变。 3.1.3预冷却盘管：在夏季，将相对湿度较低的外气进行降温，降低外气的焓湿能力。 3.1.4加湿器：在冬季，加湿器开启后将预热盘管处理过的外气加湿，提高空气相对湿度，此阶段外气焓值保持不变，同时加湿器具有洗尘效果。 3.1.5再冷却盘管：在夏季，将相对湿度较低的外气进行除湿及降温处理。 3.1.6风车：由马达带动并以变频器依系统设定压差控制马达转速。 3.1.7袋式滤网：过滤掉5μm以上微粒的particle。 3.1.8HEAP滤网：将MAU处理过之外气在送进无尘室之前做最后一次过滤，将空气中0.3μm以上微粒的particle进行过滤处理以确保无尘室之洁净度。 MAU系统负责人对MAU运行状况做每月统计。 系统操作说明及注意事项 MAU开机准备： 4.1.1确认MAU风车轴承黄油已添加。 4.1.2确认MAU风车皮带松紧度适合。 4.1.3确认MAU所有维修门已关闭。 4.1.4确认冰水、热水、电源