等离子体产生的技术.pptVIP

等离子体产生技术2 本讲安排 等离子体如何形成 生成等离子体的方法——直流放电理论 等离子体的形成 汤生放电原理 帕邢定律 等离子体形成过程 汤生放电原理 α作用与β作用 电流I随电极间的距离x呈指数函数增长I=I0eαx 系数α依赖于气体压强p和电场E： γ作用 离子在高能状态下轰击固体表面使表面发射电子，即二次电子发射。 帕邢定律Paschen,1865~1947,德国 帕邢定律的内容： 气体击穿电压由气体压强 p 和电极间距d的乘积( pd )所决定，并有极小值。 汤生理论对帕邢定律的解释 气体发生击穿后是如何趋向稳定的等离子体状态？ 以刚击穿时的时刻为t=0，此时带电粒子还很少，可近似认为是真空介质，所以电极间的电位分布如图中的点划线所示为一条直线。这就是说，这时的电位分布与阳极板带正电荷、阴极板带负电荷的真空电容器大致相同。 如果开始放电，随着时间的推移，阳极附近就会出现大量的由电离倍增产生的离子和电子。当这些电荷的数量与电极上的面电荷数量大体相当时，等离子体中的电子就会屏蔽阳极上的电荷，同样离子也会屏蔽阴极面电荷。结果，如图所示，t＝t1时电位分布中的平坦部分(等离子体状态)出现在靠近阳极一侧。 随着平坦部分向阴极一侧的延伸，阴极面上的电场不断增强，电离倍增更加剧烈，等离子体密度会不断增加。最后，如图中的 曲