Q_320481 RD0001-2018常州容导机电设备.pdf

常州容导机电设备 标准号:Q/320481 RD0001-2018 备案号： 超纯包装容器 (MO Source Bubbler) 2018-10-8发布 2018-11-01实施 常州容导机电设备有限公司发布 目 录 1 范围…………………………………………………………………………………1 2 引用标准……………………………………………………………………………1 3 电子行业常用气体、液体分类………………………………………………………………1 4 技术要求………………………………………………………………………………1 5 试验方法……………………………………………………………………2 6 材料规 范 …………………………………………………………………2 7 检验规则………………………………………………………………………………3 8 包装、标志、运输和贮存………………………………………………………3 9 安全要求………………………………………………………………………3 i 超纯包装容器 1 范围 本标准规定了我公司生产的超纯包装容器的技术要求、检验方法、检验规则 以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。 2 引用标准 SEMI E49 《管道标准指南》 SEMI E49.9-0298 《半导体制作装置高纯配管标准》 ASTM A269 《一般设备用无缝和焊接奥氏体不锈钢管标准》 ASTM A632 《不锈钢管标准》 SEMI F1 《高纯气体管道渗漏标准》 SM UNS S31603 《不锈钢组分标准》 HGT 2806-2009 《不锈钢容器制造管理细则》 JIS G3214 AMD 1-2009 《压力容器用不锈钢锻件》 GB19270.2-2003 《水路运输危险货物包装检验安全规范-性能检验》 3 电子行业高纯有机金属化合物状态分类 3.1 固体类 三甲基铟(TMIn)等 3.2 液体类 三甲基铝(TMAl)、三甲基锑(TMSb)、二乙基锌(DEZn)、三甲基硼(TMB)、三 乙基硼(TEB)等 4 技术要求 （见表1） 表1 超纯包装容器技术指标 指 标 规格 压力测试，25bar 合格 保持24小时 微粒数 （≥0.1μm） ≤1 pct/L 水分 （HO） ≤200ppb 2 -9 瓶体内部氦气泄露速率 ≤1.0×10 mbar.l/s 内表面粗造度 （Ra值） ≤0.25μm 1 5 试验方法 5.1压力测试 25bar保持24h，压力下降不大于3psi即为合格。 5.2微粒数，水分，瓶体内部氦气泄露速率 微粒数，水分，瓶体内部氦气泄露速率的测定测定依据SEMI E49.