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國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室
National Nano Device Laboratories
表單編號：S4-BP02C
修定日期：95/
設備使用問卷調查表
各位用戶及學界先進 您好：
感謝您長久以來對國家實驗研究院奈米元件實驗室(NDL)的支持與愛護。提供更專業的全方位服務是我們的責任；使客戶滿意是我們追求的目標，追求世界第一是我們的願景。
為了提昇服務品質，本實驗室希望透過NDL的web portal進行客戶滿意度調查，以提升NDL服務品質及行政支援效率。您的寶貴意見是我們改進的重要參考，和未來研究資源運用效率檢討的依據。請您撥冗填寫以下表單，您的協助與意見將使我們更加成長與進步，謝謝您的合作。
順頌 教安
倪衛新 敬上
國家奈米元件實驗室主任
國立交通大學TSMC講座教授
一、基本資料
填寫日期：
姓名：
學校/系所(或單位/部門)：
職稱：□博士班 □碩士班 □其他
聯絡電話：
E-mail：
指導教授姓名：
指導教授E-mail：
指導教授聯絡電話：
二、詳細資料
1.請問您是否曾取得NDL自行操作儀器資格： □是 □否
2.請問您是否曾委託NDL進行代工服務：□是 □否
3.請問您是否曾參加NDL所開設之課程：□是 □否
4.請問您是否曾與NDL共同進行研究計畫推動：□是 □否
5.請問您目前使用NDL儀器設備所使用的經費多來自於：□自費 □國科會貴儀 □NDL合作計畫 □無使用過NDL儀器設備
三、網站改版滿意度調查
非常滿意
滿意
普通
不滿意
非常不滿意
您對NDL目前網站首頁編排方式
5
4
3
2
1
您對NDL目前網站提供的資訊內容豐富性
5
4
3
2
1
您對NDL目前網站使用容易度
5
4
3
2
1
您對NDL目前網站資訊更新速度
5
4
3
2
1
您對NDL目前網站下載速度
5
4
3
2
1
四、技術支援滿意度調查(未使用其他貴儀中心儀器設備者，貴儀中心欄位免填)
非常滿意
滿意
普通
不滿意
非
常
不
滿意
您對儀器設備使用預約上的便利性
NDL
5
4
3
2
1
貴儀中心
5
4
3
2
1
您對儀器設備的使用穩定度
NDL
5
4
3
2
1
貴儀中心
5
4
3
2
1
您對儀器設備工程師的專業程度及應用經驗
NDL
5
4
3
2
1
貴儀中心
5
4
3
2
1
您對儀器設備在違規事項與工安問題的標示明確性
NDL
5
4
3
2
1
貴儀中心
5
4
3
2
1
您對儀器設備技術服務服務對自己研究上的幫助
NDL
5
4
3
2
1
貴儀中心
5
4
3
2
1
五、課程規劃滿意度調查
非常滿意
滿意
普通
不滿意
非
常
不
滿意
您對NDL現有開課項目
5
4
3
2
1
您對NDL現有課程規劃內容
5
4
3
2
1
您對NDL講師授課方式、表達能力
5
4
3
2
1
您對NDL課程的收費標準
5
4
3
2
1
您對NDL課程對工作或自己研究上的幫助
5
4
3
2
1
六、合作研究滿意度調查
非常滿意
滿意
普通
不滿意
非
常
不
滿意
您對NDL合作研究案的申請與審核流程
5
4
3
2
1
您對NDL合作研究案服務窗口的服務態度
5
4
3
2
1
您對NDL研究人員的專業素養與研究態度
5
4
3
2
1
您對NDL研究環境的完善程度
5
4
3
2
1
您對合作研究模式對自己研究上的幫助
5
4
3
2
1
七、營運組製程模組及設備服務滿意度調查(未使用營運組儀器設備儀器設備者免填)
1.請問您曾經使用過本實驗室下列何項製程模組及設備服務? (可複選)
頻率請略估：每日、每周、每月、每年
微影 (Lithography)
□ 頻率：
濕式清洗蝕刻 (Wet Clean Etch)
□ 頻率：
蝕刻 (Etching)
□ 頻率：
化學機械研磨 (CMP)
□ 頻率：
離子植入(Implantation )
□ 頻率：
電化學電鍍(ECP)
□ 頻率：
熱處理製程 (Thermal Process)
□ 頻率：
分子磊晶(Epitaxial Growth)
□ 頻率：
薄膜沈積 (Thin Film Deposition)
□
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