全球两大lcd曝光设备厂.pptVIP

全球兩大LCD曝光設備廠因311地震受創小尺寸LCD及大陸8.5代廠擴產進度恐延後 分析師暨專案經理 林芬卉 研究中心 杜振宇 日本主要LCD陣列製程設備廠產品及南韓廠商自給率一覽 資料來源：各公司，DIGITIMES整理，2011/3 日本設備廠 南韓自製率超過50% 南韓自製率未及50% ULVAC － PECVD、濺鍍機 Nikon － 曝光機 Canon － 濺鍍機、曝光機 Tokyo Electron (TEL) 顯影機 乾式蝕刻機、光阻塗布機 大日本Screen製造(DNS) 濕式蝕刻機、洗淨機、光阻剝離機、顯影機 光阻塗布機、曝光機 芝浦Mechatronics 洗淨機、顯影、光阻剝離機 － 全球LCD用曝光機主要由日本供應，他廠自製不易。 且日本Nikon及Canon工廠離地震帶較為接近。 Nikon及Canon曝光機廠房受損一覽 公司 廠房所在位置 震度 地震受損情形 Nikon 宮城Nikon Precision與櫪木Nikon Precision 5~6級 因部分設備與建物受損，該公司目前復工時間未定。 Canon 宇都宮事業所(位於櫪木縣宇都宮市)、阿見事業所(位於茨城縣稻敷郡) 兩廠房皆為6級 Canon曝光機廠3月14日起停工，且復工時間仍未定，主因為停電、建物受損、生產設備中斷等。 資料來源：DIGITIMES，2011/3 2009年會