离子镀硬质膜技术的最新进展和展望.pdf

年 月 真 空 $### $ 第 期 +W!vvw%+W!vvw tz!MTS{SU}WTy/WuzxKW{ 文章编号 !##$%#$$’$###(#%###% 离子镀硬质膜技术的最新进展和展望 $ 闻立时 黄荣芳 ) 中国科学院 金属研究所 辽宁 沈阳 香港城市大学 沈阳表面工程 中试基地 ’* ) ##+ ,$* ) ( 8 -./ 01231.445675- 9:4.;012.=5.?2:5634@.A245.;BCD1=E260F:563