Q_320507 LAS05-20195N电子级八氟环丁烷.pdf

Q/LAS 苏州金宏气体股份有限公司企业标准 Q/320507 LAS05—20 19 代替Q/320507 LAS05—20 16 电子级八氟环丁烷 2019-03-01 发布 2019-03-04 实施 苏州金宏气体股份有限公司 发布 前 言 本标准是针对用工业级八氟环丁烷通过吸附纯化、精馏提纯生产的电子级八氟环丁烷 （99.999%的 电子工业用八氟环丁烷）产品。该产品是电子行业蚀刻气体。由于99.999%的产品在国内尚无国家和行 业标准，现根据标准化法的规定，以及企业的实际水平和国内外用户的要求，特制定本标准。 本标准编写执行GB/T1.1- 2000 和GB/T1.2-2002 规格。 本标准由苏州金宏气体股份有限公司提出。 本标准起草单位：苏州金宏气体股份有限公司。 本标准主要起草人： 许军洲、周宝军、李刚、魏入铎、庄坤华、张琦 本标准首次发布确认时间： 2016-02-01 Q/320507 LAS05—20 19 电子级八氟环丁烷 1 范围 本标准规定了电子级八氟环丁烷产品的分类和型号，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、 运输、贮存等。 本标准适用于工业八氟环丁烷通过吸附纯化、精馏提纯生产的电子级八氟环丁烷产品。该产品是电 子行业蚀刻气体。 2 产品结构式、分子式、分子量 分子式：C4F8 相对分子量：200.031 3 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的 修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB 190 危险货物包装标志 GB13004 钢质无缝气瓶定期检验与评定 GB/T 9722 化学试剂 气相色谱法通则 GB/T 6678 化工产品采样总则 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 GB/T 6680 液体化工产品采样通则 GB/T6681 气体化工产品采样通则 4 技术要求 5N 电子级八氟环丁烷产品的质量应符合表1 的要求。 表1 5N 电子级八氟环丁烷产品技术指标 项目 电子级八氟环丁烷 八氟环丁烷（C F ）纯度（体积分数）/10-2 ≥ 99.999 99.9995 4 8 氧（O ）含量（体积分数）/10- 6 ＜ 1.0 0.5 2 氮 (N ) 含量（体积分数）/10 - 6 ＜ 2.0 1.0 2 一氧化碳（CO ）含量（体积分数）/10- 6 ＜ 0.5 0.5 二氧化碳（CO ）含量（体积分数）/10-6 ＜ 0.5 0.5