(2013)磁控溅射制备多孔柱状晶ZrO2薄膜.pdfVIP

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(2013)磁控溅射制备多孔柱状晶ZrO2薄膜.pdf

第 卷第 期 , 43 2 Vol.43 No.2 年 月 JOURNALOFUNIVERSITYOFSCIENCEANDTECHNOLOGYOFCHINA                   2013 2 Feb.2013         文章编号: ( ) 02532778201302014308 - - - 磁控溅射制备多孔柱状晶ZrO 薄膜

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