华科检测技术第2章 电阻传感器.pptVIP

第二节 固态压阻式传感器 --------半导体传感器 压阻效应：固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种现象叫压阻效应。半导体材料的压阻效应特别强。 半导体压阻式传感器分类 ①粘贴式应变片 ②扩散硅型压阻传感器 特点：灵敏系数大，分辨率高，动态响应快，体积小，温度范围宽，便于批量生产，易于集成化、智能化。 本节介绍扩散硅型压阻传感器 设半导体材料的压阻系数为 ，材料受到的应力为σ， 有 一、工作原理与结构 对于半导体材料，其电阻率的变化为： 在弹性变形限度内，压阻效应是可逆的，当应力消失时，硅片的电阻会恢复原来数值。 注意：晶体在不同的方向上，压阻效应数值不同。 压阻效应传感器的核心-----------硅膜片 内部电路 膜片芯体示意图 引 出 线 二、压阻式压力传感器 硅杯 高 压 腔 低压腔 硅膜片 引线 引线 三、压阻式加速度传感器 基座 扩散电阻 质量块 梁 四、压阻式传感器的应用 因为压阻式传感器具有灵敏度高、动态响应快、体积小、温度范围宽、便于批量生产、易于集成化、智能化的优点。在航空、航海、石油、化工、机械、兵器、医疗等各方面获得广泛应用。 机械：实时检测各种机器设备、生产线的气液压力等 航空：飞机发动机压力、物体加速度等 兵器：枪炮膛内压力、爆炸