洁净室区资料尘埃粒子数测试 记录.docVIP

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  • 2019-10-31 发布于广东
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XXXXX公司 洁净室(区)尘埃粒子数测试记录 文件编号:XXX 检测编号: 被测单位 洁净级别 气流形式 测试状态 检测日期   测试依据 报告日期   测试仪器厂家及编号: 记录0.5μm、5μm粒子数:采样流量为2.83L/min;采样周期为1min;(单位:粒/m3) 洁净室/区 采 样 点 粒子 直径 C1 C2 C3 平均值A=C1+C2+C3 3 平均值的均值 M=(A1+A2)/L 标准误差 SE 置信上限UCL=M +t×SE 结果 评定 1 0.5μm 0.5μm 5μm 2 0.5μm 5 μm 5μm 1 0.5μm 0.5μm 5μm 2 0.5μm 5 μm 5μm 1 0.5μm 0.5μm 5μm 2 0.5μm 5 μm 5μm 1 0.5μm 0.5μm 5μm 2 0.5μm 5 μm 5μm 评定标准: 注:(1)A1,A2--某一采样点的平均粒子浓度; UCL--

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