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电子行业专项监察工作手册
(电子工业窑炉部分)
工业和信息化部
2019 年6 月
目 录
一、监察对象和内容2
(一)监察对象2
(二)监察内容2
二、监察工作程序2
三、执行标准及能耗计算3
(一)执行标准3
(二)能耗统计范围3
(三)单位产品能耗计算5
四、企业自查及初审7
(一)企业自查7
(二)监察机构初审7
五、现场监察8
(一)核查企业执行单位产品能耗限额标准情况8
(二)核查企业执行淘汰落后制度情况9
(三)核查企业能源计量情况9
(四)核查企业执行能源消费统计制度情况10
(五)核查企业装备和节能设施10
(七)收集相关资料11
(八)现场检查结果11
六、监察结果及上报 11
附件1:企业自查报告模板 12
附件2 :节能监察报告模板22
附件3 :电子窑炉能耗专项监察结果汇总表28
附件4 :参阅材料30
1
电子工业窑炉能耗专项监察工作手册
为更好地贯彻落实工业和信息化部印发的《关于印发2019
年工业节能监察重点工作计划的通知》(工信部节函〔2019〕77
号),指导各地深入开展电子行业企业能耗专项监察工作,特制
定本手册。
一、监察对象和内容
(一)监察对象
监察对象为使用电子工业窑炉如氢气炉、真空炉、扩散炉、
单晶炉、推板炉、网带炉、双通道推板式电窑等电子窑炉进行
生产活动的企业。
(二)监察内容
主要监察内容为企业单位产品能耗限额标准执行情况、淘
汰落后制度执行情况、能源计量管理制度执行情况、能源消费
统计制度执行情况等。
二、监察工作程序
(一)企业按照有关要求进行自查,向地方主管部门(或
节能监察机构)提交自查报告(见附件1 );
(二)地方主管部门委托节能监察机构对企业自查报告进
行初审,按有关要求实施现场监察;
(三)节能监察机构根据初审及现场监察情况,编制节能
监察报告(见附件2 ),报送主管部门;
(四)省级主管部门汇总监察结果,编制“专项节能监察
2
工作报告”,按时报送工业和信息化部。
三、执行标准及能耗计算
(一)执行标准
《用能单位能源计量器具配备和管理通则》(GB
17167-2006 );
《综合能耗计算通则》(GB/T 2589-2008 );
《单晶炉能源消耗规范》(SJ/T 11450-2013 );
《扩散炉能源消耗规范》(SJ/T 11451-2013 );
《电真空器件用推板炉能源消耗规范》(SJ/T 11452-2013 );
《网带炉能源消耗规范》(SJ/T 11453-2013 );
《电真空器件氢气炉能源消耗规范》(SJ/T 11667-2017);
《电真空器件真空炉能源消耗规范》(SJ/T 11668-2017 );
《双通道推板式电窑能源消耗规范》(SJ/T 11669-2017 )
等。
(二)能耗统计范围
1.单晶炉:统计单晶炉系统消耗的实耗电能量,即直接消
耗电能量、冷却水折合电能量、氩气折合电能量之和;统计单
晶炉合格产品产量,即统计期内单晶炉拉出的经检验合格的单
晶硅棒的整体质量(包括头尾)之和。具体测算方式依据《单晶
炉能源消耗规范》(SJ/T 11450-2013 )执行。
2.扩散炉:统计扩散炉系统消耗的实耗电能量,即直接消
耗电能量、冷却水折合电能量、氧气折合电能量、氮气折合电
3
能量之和;统计扩散
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