超精密测量关键技术的研究动态.pdfVIP

超精密测量关键技术的研究动态 ( ) 浙江师范大学交通学院 32 10 19 　胡礼广 　蒋洪奎 【摘要】超精密测量是超精密加工中的重要一环 , 目前其研究的内容主要涉及光干涉技术 、电 学测量技术以及扫描探针技术等几个方面 ,本文主要介绍了几种测量技术的工作原理 、设备技 术等方面的研究及进展情况 。 关键词 　超精密测量 　光干涉 　电学测量 　扫描探针 Research Tendency of Ultra Precision Measurement Key Technology Ult rap reci sion mea surement i s t he import ant p art of ult rap reci sion machining . The st udy of ul Abstract 　 t rap reci sion measurement mainly involves op ticalint erferomet er t echnology , elect ricit y mea surement t echnol o gy and scanningp robe t echnolo gy . The op erational p rincip le of several mea surement t echnolo gies and re search st at u s of equip ment t echnolo gy are described . Key words 　ult rap reci sion mea surement , int erference of light , elect ricit ymeasurement , scanning p robe 中图分类号 : T H74 　　文献标识码 :A ( 　　超精密加工是指亚微米级加工技术 尺寸误差 格间距 0 192 nm 为长度基准单位 ,就可实现纳米 μ 为 03 ～003 m , 表面粗糙度 R a 小于 003 ～ 精度测量 。测量标准偏差达到 5 p m ,测量位移范围 μ ) ( μ μ 0005 m 和纳米级 精度误差为 003 m ,表面粗 100～200 m ,应用 X 射线干涉测量技术容易得到 μ ) 糙度 R a ≤0005 m 精度的加工 。实现这些加工 皮米数量级的高分辨率 ,但其缺点是其测量范围小 , 所采用的工艺方法和技术措施称超精密加工技术 , 测量速度低 ,且会因弹性变形和机械加工因素等对 超精密加工技术 、测量技术 、环境保障和材料等总称 测量结果有较大的影响 ,这在很大程度上限制了它 为超精工程 。 的应用 。 由于超精密加工的加工精度和表面质量都很 英国 Warwick 大学 D G. Chet wyn d 等人针对 高 ,一定要有相应的检测手段 ,才能说明是否达到技 X 射线干涉仪测量范围小的缺点 ,研制出测量范围 μ 术要求 。因此 ,在精密和超精密加工中 ,检测的难度 在 10 m , 有 nm 级精度 的 X 射线干涉仪 。英 国 更大 ,对测量技术提出了严格要求 ,即要求测量精度 N PL 、德国 P TB 和意大利 IM GC 3