石英玻璃在化学耐久性、耐热性和耐热冲击性方面都是最优异.pdfVIP

第 4 章 薄膜制备工艺 4.1 所用基片及其处理方法 薄膜涂层本身不能单独作为一种材料来使用，它必须与基片结合在一起来发挥 它的作用。所以首先对基片作以介绍。 4.1.1 基片类型 4.1.1.1 玻璃基片 玻璃是一种透明的具有平滑表面的稳定性材料，可以在小于500C 的温度下使 用。玻璃的热性质和化学性质随其成分不同而有明显变化。表 4—1 列出了典型的玻 璃基片的成分。不同厂家生产的玻璃基片的精确组成有所不同。 表4.1 各种玻璃组成 /wt% 玻璃种类 SiO Na O K O CaO MgO B O Al O 2 2 2 2 3 2 3 透明石英玻璃 99.9 - - - - - - 96 ％石英玻璃 96 0.2 0.2 - - 2.9 0.4 低膨胀系数 80.5 3.8 0.4