Q_0516ZNGY11624-2019硅烷气标准企业标准.pdf

Q/ZNGY 江苏中能硅业科技发展有限公司企业标准 Q/GCL/ZNGY 11624-2019 代替 Q/GCL/ZNGY 11624-2017（2） 硅 烷 气 标 准 1 范围 本标准规定了江苏中能硅业科技发展有限公司（以下简称“中能公司”）硅烷气的品 质技术要求、检验方法、判断准则以及包装、运输、贮存和安全。 2 引用标准 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件， 其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据 本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件， 其最新版本适用于本标准。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 GB 5099 钢质无缝气瓶 GB/T 5832.1气体中微量水分的测定 第1部分 电解法 GB 7144 气瓶颜色标志 GB14193 液化气体气瓶充装规定 GB l5258 化学品安全标签编写规定 GB 16804 气瓶警示标签 GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB/T 26571 特种气体储存期规范 GB11640 铝合金无缝气瓶 CGA350 移动式和固定式散装储槽接头 GB/T 15909 电子工业用气体 硅烷（SiH ） 4 气瓶安全监察规程 危险化学品安全管理条例 特种设备安全监察条例 江苏中能硅业科技发展有限公司 2019-04-29 发布 2019-05-01 实施 Q/GCL/ZNGY 11624-2019 3 技术要求 3.1 硅烷气的相关技术要求应符合表1的规定。 表 1 检测项目 检测单位 技术指标 硅烷（SiH4） vol % 99.9999 CO ppma 0.05 CO2 ppma 0.05 H2O ppma 0.5 N2 ppma 0.5 O2+Ar ppma 0.05 CH4 ppma 0.04 烃C2-C4 ppma